中芯國際集成電路制造有限公司

中芯國際集成電路制造有限公司（"中芯國際"，紐交所代號(hào)：SMI，港交所股份代號(hào)：981），是世界領(lǐng)先的集成電路晶圓代工企業(yè)之一，也是中國內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路晶圓代工企業(yè)。中芯國際向全球客戶提供0.35微米到28納米晶圓代工與技術(shù)服務(wù)。中芯國際總部位于上海，在上海建有一座300mm晶圓廠和一座200mm超大規(guī)模晶圓廠；在北京建有一座300mm超大規(guī)模晶圓廠，一座控股的300mm先進(jìn)制程晶圓廠正在開發(fā)中；在天津建有一座200mm晶圓廠；在深圳正開發(fā)一個(gè)200mm晶圓廠項(xiàng)目。中芯國際還在美國、歐洲、日本和臺(tái)灣地區(qū)設(shè)立營銷辦事處、提供客戶服務(wù)，同時(shí)在香港設(shè)立了代表處。      

寧先捷博士于2001年加入中芯國際技術(shù)開發(fā)中心， 參與0.13微米銅制程技術(shù)開發(fā)項(xiàng)目。2003 年，中國第一條銅工藝生產(chǎn)線（0.13微米銅制程）在中芯國際半導(dǎo)體投入生產(chǎn)。 期間他還負(fù)責(zé)0.25微米，0.35微米工藝線的建設(shè)。自2005年開始，寧先捷博士擔(dān)任中芯國際65納米技術(shù)開發(fā)項(xiàng)目經(jīng)理（program manager），著手組建開發(fā)團(tuán)隊(duì)，主持65納米成套工藝技術(shù)的開發(fā)工作。2005年底由上海轉(zhuǎn)到位于北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)的中芯國際北京廠。主要負(fù)責(zé)北京12英寸生產(chǎn)線研發(fā)團(tuán)隊(duì)的組建工作，訓(xùn)練并帶領(lǐng)以國內(nèi)新畢業(yè)生為主體的研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主開發(fā)65納米的成套工藝。主持工藝流程的制訂。親自主筆起草了設(shè)計(jì)規(guī)則（Design Rule），主持并參與了光掩膜等級(jí)制度的確定（Mask grade define），整套測試電路（test structures）設(shè)計(jì)，關(guān)鍵層的光學(xué)參數(shù)的確定，OPC模型的制定，可靠性測試標(biāo)準(zhǔn)的制定，關(guān)鍵機(jī)型的選取， 工藝條件及要求的確定，SRAM 單元設(shè)計(jì)的確定等一系列相關(guān)技術(shù)的開發(fā)工作。中芯國際的65納米柵工藝流程及其結(jié)構(gòu)有明顯的特點(diǎn)且為低成本工藝。65納米的銅互聯(lián)更是采用自有專利且低成本的工藝流程。　　

2008年9月，中芯國際的65納米低漏電產(chǎn)品通過國際大客戶認(rèn)可的可靠性驗(yàn)證并投入試生產(chǎn)。2009年第二季度開始正式量產(chǎn)并于當(dāng)年第四季度達(dá)到公司總營業(yè)額的3%。65納米通用技術(shù)工藝于2009年底通過可靠性驗(yàn)證。至2010年第二季度，65納米工藝的銷售額已超過兩億元。此工藝為目前中國完全自主開發(fā)并投入量產(chǎn)的最先進(jìn)半導(dǎo)體工藝技術(shù)，使中國半導(dǎo)體技術(shù)與世界最先進(jìn)水平的差距大幅度縮短。目前正在進(jìn)行65納米產(chǎn)能擴(kuò)充以達(dá)到兩年內(nèi)65納米年銷售額超40億元的目標(biāo)。                                                                    

（中芯國際集成電路制造有限公司技術(shù)開發(fā)中心處長     寧先捷）